309
16054918169011060120180
Материал7203900128125187249311381455518588
подложки:1535390012875145216286356452520596635
кремний,2396390012868137200289363438513548
арсенид360551012862133195258332407478
галлия,873551012858120190260334398433
сапфир,1342551012862124199289364434470
стекло,1847551012861123185253323394429
кварц.2311551012868134195265340377
Длительность720712012896166241302365435499573643705767831
измерения:15857120128125181270331400463538612677715
не23367120128123186
более25577120128122191262323386
10360873012870141
сек.536873012863124192228
Питание:34473900128101176238300375449512551
от40323900128207269
сети43363900128198260321395
переменного47663900128212274343406495556631706776833903
напряжения3087551012875138213282347443506581656720
2203841551012870140211
±4087551012877
204199551012870139
В,4374551012894129
частоты4537551012871133195257325387482
50–605052551012871140213283352
Гц.5440551012881156192
Устройства3447712012899162223293363437500561628690
внедрены4548712012866140203274344406480575
на5534712012875137
предприятиях3087873012875146208279353424498564625699764833
Москвы,41528730128125194257325391484519
Зеленограда,4903873012870133203265339409466537600670733768
Саратова.30871035012894156226289350419486548583
Автоматический1066152201261011772463164114815506317107728359169971077
встраиваемый21771522012676137206284353435510580642737847928
быстродействующий313915220126711802433103884585295926737348028789491056117412541335
эллипсометр45081522012661140218299380442512608669738816
В7201678012894
составе84916780128114185248309370436499
аналитического138316780128114188251321396457531601663726794864922991
парка240916780128128190259328389
средств283316780128115184247317380441508
измерений337616780128127183271332402464539614689
Центра410416800126161222303372450520
коллективного4659168001261332022813604225035716527278088789421012
пользования3601841012681151230304361430506575656737812
Омского121118410126101197259331400452523
научного17731841012681149220299380449513582
центра23941841012681143224293371440
СО287318410126101210
РАН31211841012686186295
(ЦКП34511841012650159261370
ОНЦ386018410126109217326
СО422418410126102210
РАН)44731841012685186295342
появился48551839012875146210276350420482547
еще54371839012865173235
один3602001012870142216292
эллипсометр,6872001012861130200274349411480570632695763799
на15202001012876138
этот16932001012860121192253
раз19812001012870132187
это22032001012860121192
«Автоматический243020010128701712362983674575195806547257878509179921067
встраиваемый35322001012866128190260321397462524587676770844
быстродействующий44122001012871164227288357428499562636698758825894999110611821257
эллипсометр».3602161012860130200274350412483571633695763834869
Задачи,7202322012870133204266337412448
которые12012322012870140201272341435497
предполагается17342322012876146208278354423494556613675738799860925
решать26942322012871134242303365429
с31572322012863
помощью32572322012875145234303412476580
in–situ38722322012841110183238276316385
эллипсометра,42922322012862132202276352414483573635696765828863
связаны51902322012864130195250311386480
с3602483012862
выполнением45724830128237331406476546621683758832895984
научно–исследовательских147424830128246308378447523593664740802864934996106811371203126513261389145915221584165217271797
работ330724830128240302373443505
создания384524830128233303359429492567641706
перспективных45862483012824430737643951357564470577984692110141084
наноматериалов3602644012875138213282372434495556626701764834904970
и13652644012899
наносистем149926440128100163238307370444507568630719
в22532644012891
технологиях23822644012886148218293362432502560635700769
полупроводниковой3186264401281001702403103834545245916607318058819491018108511541229
наноэлектроники,44512644012810016123630636643749856662869776784291798510601096
а55822644012887
также3602805012861124192289351
в7462805012897
электронно–ионно–плазменных878280501288915922128935142149056564071078085692510011075114512161290136114231478156716291703177818721942
технологиях,28552805012891153224298368438508566640705774809
технологиях36992805012891153224298368439507565641704775
микросенсорики4509280501281191932613314014635256006627328028789461020
и556528050128103
нанокатализа,3602966012875138213282351412474536606681737799834
мембранных122929660128209271359431501563638712807876
технологиях,214129660128182244315389459529599657732796866902
технологиях307829660128182244313388458528598656730795864
создания397829660128183253309379442517591656
полимеров466929660128197266337411499562632702768
и547229660128195
композитов,3603128012868138228302372428502563632699734
технологиях11293128012861123193268338409477535610674744
биоинженерии19073128012872147217292367463526601663733807882
и28243128012875
медицины,29343128012889152222297372447522615651
космических36203128012867138199288362433495558629704773
технологиях44293128012861123192268337408477535609674744
и52083128012875
др.53173128012871142178
Эллипсометр7203288012893163232307382445514603665727796
предназначен155132880128134204266337412475530605667737800874
для246032880128130200265
нанодиагностики27603288012813319627033941048654960568075081287494810161091
оптических388732880128127203264338409470533601676746
и466832880128134
структурных483732880128121182251322388450521589665760829
свойств3603449012862129199274336398464
различных85834490128132194250320394465539634703
слоистых159634490128124194264338401462557626
функциональных22583449012815122229536443951458466072279285692910241094
материалов338734490128151212273336406480543613682748
в417034490128128
масштабе433334490128151212274382444506576639
реального500734490128131194255325389464534591660
времени,3603610012866136199288350424500535
как9293610012875137205
однородных11683610012876148223293363432504579673743
так19453610012868131199
и21783610012882
композиционных,2294361001287514423430937843450858365872880387897210411077
в34063610012872
том35143610012867136225
числе37733610012878152213283346
наноструктурированных,4154361001288114421828835041248155161867975081989496510341101116312381313140614771512
таких3603771012861124192267337
как7323771012877140209
нанокристаллические976377101288314622029035842850356662668875882890297310361098116612411303
пленки,23143771012883154216291359434468
диэлектрические281737710128801562162863484164785476226927558178859601022
материалы38843771012888149211273343418481551645
с45643771012872
металлическими46803771012889150211274344413488558620683751825914988
нанокластерами,3603932012875138213282351421483544606668738800889964999
получаемые139439320128173243313383452514577665760823
воздействием225239320128165235291361424498560621687762825914
мощных320139320128188257365440534603
ионных384039320128173244318393487557
пучков,443239320128174245314382452519554
а502139320128160
также521639320128161223291389451
экспрессного3604094012860128191266335398461523597666724795
определения13754094012870145214277347410480543618692757
оптических23514094012870146206282352414476544619689
постоянных32604094012875146207269339403478552647717
наноструктурированных419840940128751372122813444054745456116737448128889581028109511571231130514001469
полупроводниковых3604255012875146216286359430499566636707782857925994106111551225
и16194255012881
диэлектрических173542550128771532132843454134745446186897528148819561026
материалов,28014255012889151213275345420482552625692727
изучения35624255012880136206274337412487552
наличия41494255012881144214288358433497
и46824255012880
характеристик47984255012874137206269337399460530606667729804871
нановключений3604415012875138213282349417487592662724798874948
в13444415012866
них,14444415012875150220256
исследования17344415012875137199269332403472539601675750814
свойств25834415012863129198273336397463
пористых30804415012875145215289352413508577
материалов.36934415012889151212273343419480550621687722
3.10.8804742012670106176245281
Гигиенический11964742012689169232313375456537615678740821902982
надзор22124742012681151222279349427
в26744742012676
области27844742012671140219289352419501
нанотехнологий331847420126811512323023704335035856537328028669471027
в43804742012676
промышленном449047420126811582293254345536316937748559241019
производстве.25724902012681159229310366442512583645713790852887
Нормативные237450640126109179258352422491573648729838900
документы33095064012671141222292387449530599709
Документ7205223012697166248317413475556625
№139852230126141
1.15745223012688123
Письмо175252230126109190251325421490
федеральной227852210128110172243306375437507571646715791
службы31035221012880150220315387481
по36205221012894163
надзору38195221012894156227283351422493
в43455221012887
сфере44675221012881172235304367
защиты48695221012874136244318380474
прав53795221012893163225292
потребителей3605381012875146207276339409485546607677740815
и12105381012881
благополучия13265381012877148210266336412482552622691766831
человека21925381012878140210279345408476537
227725384012670
мая28845384012696166243
200731615384012675145216285
г.34825384012670105
N363053840126101
0100/4502–07–32376553840126761452152853243944645346036767468158869561025
«О48265381012877178
надзоре50395381012881143214270341410473
за55465381012862124
производством3605542012875146215291347414482553616677743814901
и12975542012875
оборотом14075542012870141210281350412481570
продукции,20125542012875145214286357423498574648684
содержащей27315542012863133204267337434496604666740
наноматериалы».350755420128751362112813704334935556257017628329279971032
Документ7205708012697166248317413475556625
№138057080126205
2.162157080126133169
Постановление1825570801261742453073754465275966727518128939741035
Главного289657080126153231302378459527592662
государственного359357080126128197260330402470549611679754816897978104711121182
санитарного481057080126127196277358426497574655725789858
врача3605866012676154224303373
РФ7695866012686206
от10095866012671139
23.07.200711845866012670141176245316351420490560630
№184958660126141
5420285866012671140
"О22055866012678228358640128101
надзоре24195864012875137208264334403466
за29205864012856119
продукцией,30735864012875146216286357423499574637711746
полученной38555864012875144215285353416491567637712
с46025864012863
использованием47005864012875138212282353416470540607669744819881969
нанотехнологий3606025012875138213282344406475551620691759817893968
и13636025012876
содержащей14746025012862131203265335431493602664738
наноматериалы".224760250128761382122823714334955556267017638339279851020
Документ7206189012697166248317413475556625
№138061890126192
3.160861890126120155
Методические179961890126184246315385457538616677740821901963
рекомендации279761890126129192273342438501582653721803883964
МР384861890126133218
1.2.2522–09410061890126122157228264334403474543614685755
«Выявление49416187012870163258321388458519595669731
наноматериалов,36063480128751382132823724344955566267017648349049701005
представляющих139963480128751452072783414024655316016657708789521021
потенциальную24566348012875144206268342417492554624688763833936
опасность34276348012870145208271345415478538602
для40646348012871141206
здоровья43056348012855126197266336403467531
человека».48716348012870133203271338400469531601636
Документ7206513012697166248317413475556624
№138065130126194
4.160965130126123158
Распоряжение180265130126140209271352422500576678739820901962
Правительства2800651301261622403093854665345976757498118809571026
Российской386165130126139208271333414493555636706787
Федерации468365130126174236307369447517598679759
от547665130126123192
07.07.20113606672012670141176245316351420489560630
№102466720126141
1192–р«Категории1200667201267014021028035142916636669012870163226287349407477547622697
продукции23956669012875144214286356423498574648
наноиндустрии30786669012875137212281357431502573633695765840915
в40286669012866
части41296669012871133195257332
товаров44966669012861130197259328399465
и49956669012875
услуг».51046669012870130200271328398433
Документ7206832012697166248317413475556625
№138068320126231
5.164568320126161197
Методические1875683201262252863554254975776567187818619421004
указания291468320126160241311368437518598674
МУ371568320126133235
1.2.2636–10398568320126160196265300370440510580650721790
"Проведение49016830012857159229298365427497559634710771
санитарно–эпидемиологической360699101286212520027433639846954361268474481889496410271116119012591330140014581532160216651726179418641939
экспертизы23346991012877145208282344413474549605699
продукции,30686991012892162231303374440515591665701
полученной38046991012891160230301369432507583652728
с45676991012879
использованием46816991012891153228298368432487557623686761835898987
нанотехнологий3607153012875138213282344406475551620691759817893967
и13627153012875
наноматериалов".1471715301287513721228337143349555762670276483490397010271062
Документ7207316012697166248317413475556625
№138073160126203
6.161973160126133168
Методические182373160126195257326396468549627689751832913974
рекомендации283273160126141204283353449512593663732813894974
МР390573160126133218
1.2.0016–10415873160126134169240275344414484553625695764
"Методика50217314012857182244306375446521589651
классифицирования3607475012868138201263325400491566640716785855921984105911331198
нанотехнологий1592747501281452082833534144775476216917618318899631039
и266674750128144
продукции284674750128145216285356427493568644719
наноиндустрии360174750128145207282351426501572643703765835915991
по462774750128144215
степени487774750128133194257330393468543
их545574750128145215
потенциальной3607636012875146207270344418493556626690764834908
опасности".13047636012870144207269343414476538612669704