227
15954918169011060120180
Такой720390012886148216286362
подход11163900128136206277347417488
позволяет16393900128135205261326396466531593655
получить23293900128134204274344413488550614
информацию360551012875151241311381470532607682787
не11825510128137199
только14175510128124193263327395465
об19185510128132203
оптических,21565510128134208270343414477539606681751787
структурных360712012862124194265331392462531606701771
свойствах,1355712012862129197272335396462525593629
морфологии2207712012889159229319389460528585661736
поверхности,360873012875146212275343413489558621682756791
но11878730128237307
и15288730128238
характеризовать18018730128232295364427495556619688763819888954101610771141
магнитную3601035012889151209284358420495565669
упорядоченность106310350128911642343053704405105806427177928639249861050
выращенных21471035012885180250313420482557632725796
структур,3601195012862124194265331392462531566
исследовать12631195012875138200270332404473540602664728
доменную23271195012871141230293366441511614
магнитную3601356012889151209284358420495565669
структуру,10631356012885146217287354415486556627660
измерять17581356012897153242305375441502566
величину23591356012888151221295366440516586
коэрцитивной3601517012868138199268344418480555621695765840
силы,123515170128209283352446481
изучать175215170128220276346415477538602
другие238915170128218288358414489551
свойства.3601678012862129199274336398464526561
Метод72018390128125187249319389
магнитоэллипсометрии15421839012889151209283357418488549619688763838901970105911201181125213261401
совместно3602001012862133199288351413474548617
разработан101320010128208270326395457529599660723798
с184620010128200
Институтом208120010128239314376438512573643703773862
физики3602161012891166222297364440
им.83421610128102191227
Л.В.109421610128122158250286
Киренского141521610128120194264327401464531601659728
СО217921610128120221
РАН243421610128106207308
(г.27762161012874132167
Красноярск)3087390012894164227289363433497568630698745
и38673900128101
успешно4003390012897157232295402477547
используется45863900128100163238307378441496567627688750815
для5436390012898168232
прецизионной3087551012875146208282357412488557632707777852
in4161551012839109
situ449255101285594133202
диагностики4916551012871147210267341411473535609677752
ферромагнитных30877120128911532242943634525155726467227838579511021
наноструктур.41447120128157219294364426488558628695756828896932
С51117120128176
этой53227120128142204275349
целью3087873012875138208272376
на34988730128200263
камеры37968730128193255344406475569
роста44008730128196266329390451
магнитных48868730128215277335409484546619714783
наноструктур30871035012875138213282345406475546612674744812
(фото)42081035012847139209271340387
установлены49031035012870131192254330400467537597672766
лазерный30871195012870132187250320395489563
и42041195012875
спектральный48311195012862137200268330399462532596670764839
магнитоэллипсометры,30871356012889151209284358420490551621690765839902971106011221184125313471383
с47491356012862
помощью50911356012875145234303410474579
которых30871517012868138200269340434503
можно362615170128240311407482552
в421215170128218
процессе446515170128227298368443505568630691
роста519215170128222292354416478
характеризовать30871678012870133202265333394457526600656726793855916980
свойства42901678012862129199274336398464526
слоѐв50401678012862132203265331
и55941678012875
корректировать30871839012868138208279341409470545615684751813875939
при406018390128160230304
необходимости4399183901281602232923634345035746507398088719321006
их543918390128160231
параметры.30872001012875138208270359421482551646681
Устройство93340040126103165234313382463525593669740
радиоволнового170840040126781472182993694455145936747438198899531022
контроля13504164012681151232300379448527603
Состав:72043230126101171234303372449495
СВЧ–датчик,21534321012894187278349421482544614689757792
предварительный36044810128751462082793454084775526146757458098839781052
усилитель,16554481012870131206276351413475545608643
ячейка25404481012865135198273341403
памяти,3604642012875138227291353427462
блок11034642012871142212279
питания,16644642012875151212274350424489524
система24694642012862137199260323412474
корректировки30872483012868138208279341409470545615684751819893
нуля,401624830128199270338402437
блок448824830128196266336405
обработки492724830128195265335398469539600668743
информации.30872644012875151241311381470532607682756792
Принцип344728050128101171247321396471546
действия402928050128210271346409471537610674
основан473828050128210272347417484546620
на539328050128214277
эффекте30872966012860151242305373434497
автодинного361829660128206272333403474548624698769827896
детектирования.454929660128214277338400469529604673744811872946102110861121
Полупроводниковый3087312801281011712413113854555265926637338098839521021108811801255
генератор43773128012858120195257327390451520590
электромагнитных3447328801286013019226032239246155161367174582088295510501119
колебаний50423288012868138209271341404478553628
работает30873449012870133203274336398459520
в38703449012866
режиме41993449012870133230305395456
автодинного49173449012862129190260331406481556625683753
детектирования.30873610012871134196258326388461531601668731804879943979
СВЧ–элемент34473771012894187278349409479541630692766828
(диод431037710128119190265335406
Ганна,475137710128154217291366429464
СВЧ–525037710128166260350421
транзистор)30873932012861132194269325399461523592662709
является40493932012865131201265326388450515
одновременно48153932012870142216286353423485573636711785855
источником30874094012875138199269339414489557627716
и38384094012875
приемником39474094012875145220283370445521589659748
отраженной.47294094012870132200263360423497571642716751
Устройство34474255012899162223293363437500561628698
радиоволнового47084255012870133204279348415485555629699765836893963
контроля30874415012868138213275345414485549
обеспечивает36714415012870141204265340403473548614675738799
ввод45054415012866132202274
информации48134415012875151241311381470532607681755
в56044415012866
компьютер,30874576012868138228302366470531594664699
еѐ38224576012891152
обработку40094576012899171240303373444506575645
и468745760128105
сохранение48274576012892163232303365440503577651714
в55754576012895
цифровом30874737012875151241311381447518606
виде.37284737012866141211274309
Устройство96460840126103165234313382463525593669740
видеоконтроля17396084012676156227289358439508589658736805884961
Состав:72062440126101171234303372449495
видеокамера,20946244012676157227289360440511606668746815851
микроинтерферометр3606405012696176257335405486567635698776873935101310821178123913081387
МИИ–4,242064050126133241349420490525
программное3606566012681159229293371441536632713782844
обеспечение.12386566012670141204265346408487550630711773808
Принцип72067220128101171247321396471546
действия130267220128210271346409471537610674
основан201167220128210272347417484546620
на266667220128214277
использовании3606883012875138213282353416471542608670744820894
обнаруженных20516883012870142218279349420515578653728822892
закономерностей36070450128551181862563314014915526226967668298909521026
поведения23227045012875146212275345407483557622
интерференционной3607206012875151212274343435496566629703778853923998107311421218
картины161272060128116178247309384458553
на220072060128122185
границе241972060128105174237312386462523
метало–диэлектрических360736701288915121327534541548455763169176182389195310221097116712291291135914341504
и190073670128107
поглощающих204273670128107177235305373482544649755831901
пленок,3607528012875145207282352421456
а10277528012862
также13007528012861124192288350
на18627528012875138
применении22107528012875145220309370445508582658732
современных3607688012862133199270331420482556632725796
систем119076880128235309372432494583
видеообработки18087688012823931438444751658765872779086093199210601135
изображений30875060012875131201272342404501563638713788
и39115060012875
уникального40215060012872146221289351421485559630688757
программного48155060012875145214272341404493582656725783854
интерфейса.30875221012875151212274343435496571634695730
Устройство34475381012899162223293363437500561628698
видеоконтроля47785381012866141213276345413483558619689760830893
обеспечивает30875542012870142204266341403474549616676739800
ввод39225542012890156226297
изображения42545542012898154224294365427524586660736800
высокого50895542012890184247316384454512581
разрешения,30875703012870133188259320428491565640705740
его386157030128152209278
анализ417557030128150226288358434489
и469857030128164
сохранение489857030128150221290360423498559633709771
результатов30875864012870133188259327390451514575645712
измерений383458640128227283371434504566641717791
в466058640128218
цифровом491358640128227302394463533598669757
формате.30876025012891161231320383444506541
Основные386661870128101163238309376449544607
технические45086187012861122192267342412474537604679742
характеристики:38896348012870133202265333394457526600663724799867942980
Диапазон34476509012896171234308370426495570
измерений:40526509012880136225287356419493568643682
металлических47746509012889151213275345415489559621684752826896
пленок30876669012875145207282352421
0.01–15.0354366690128182218288357429499568604674
мкм,425166690128203271360395
непроводящих468166690128189251326396465532602673738845920990
пленок30876830012875145207282352421
1–100037276830012870142211281352421
мкм.43696830012889157246281
Погрешность487068300128101171229299361469543613676738802
определения30876991012870146215278348411481543619693758
толщины:38806991012861130200308383457552590
10%.45066991012870139257291
Разрешающая34477153012878140196266328437499604712773837
способность:43197153012863137207269339410486555618679743782
251357153012870
нм.52407153012876163199
Материал344773140128125187249311381455518588
проводящей42547314012875146215282352423488596658732
пленки:52067314012875145207282351425464
алюминий,30877475012862132237325400476551626661
ванадий,37847475012896159232295365441515550
медь,436974750128119181253317352
никель,475674750128106180249311381445479
титан,52717475012891166228289364400
хром.30877636012870141210300335