148
15854918169011060120180
Патент7203900128101163224287362424
РФ1179390012882193
№14113900128134
2094811.1580390012875145215285355425495531
Устройство21523920126103165233312381462524593669738
на2930392012681151
диоде3116392012675155225296359
Ганна3514392012689159240321390
для3940392012675154230
измерения4209392012681137233295373436517597673
параметров4921392012681151229299394457525603672749
диэлектрических36055301267115221229135443550258166174080286594610261096
материалов.149155301261312022713334114925616407097862278551012835
Опуб.27.10.97.23485510128138213283353388458529564633704739808878913
Бюл.32965510128117222292326
изоб.36575510128112168238308346
№30.40385510128170240311346
Д.А.44195510128132168269303
Усанов,47585510128135198260334404471506
Ал.В.52985510128138208243336371
Скрипаль,360712012894162232307382445515579613
Ан.В.10087120128101176211305340
Скрипаль,1382712012894162231306381443513577612
А.В.20287120128102136230265
Абрамов.23277120128102172243306395463530565
Предназначены7208730128101171234305380442498573634705767842936
для16928730128111182246
неразрушающего201587501268114322129134842649661568479291097210351104
контроля3196875012681151232300379449527604
параметров38358750126122191270339435497565644714791
металлических466187501261351982663374154945756547167778589391009
или3601037012681159240
диэлектрических63510370126133214274353416496564643723802864927100610871157
пленок182710370126143221284365435516
в24411035012866
ходе254210350128131201272334
технологического291110350128124186255331400471539597672742805867935100510621132
процесса407810350128136207277352414476538601
и471410350128136
на488510350128136199
готовых511810350128119190251320387481551
изделиях.3601195012875131202265335409473543578
Измерительный72013560128101156245307378453515577647711784879953
комплекс20061356012868138228302372434502565
позволяет29031356012875146201268336407471533595
контролировать38301356012868138214275345414487562632702769830891954
толщины51171356012861132202310385460554
металодиэлектрических36015170128891512132753454154865616226927538218839521026109711601222128913651434
и183015170128170
поглощающих203615170128171240298368438545608713819894964
пленок303615170128170240302377447515
в358615170128162
нанометровом378415170128170232307377466528589660729796865954
диапазоне477315170128167241304378440495565640703
с551115170128157
недостижимой3601678012875138209279342403477574648737806882
ранее12761678012870133208269331
точностью.16421678012861131202276347409471535639674
Область72018390128101172243305367428492
применения:124718390128225294370459520595658732807872910
микро–219318390128238312380450520592
и282118390128223
наноэлектроника,3079183901282242873624314925626246927538228929681042111111731207
интерференционная432118390128224300362424493584647716778852928100210721147122212841348
микроскопия,3602001012889164232302372434502572647722787822
приборостроение,121720010128163234308379450519589652713782853915989106411261161
машиностроение,241320010128179241348423498568631692761832894969104311061141
акустоэлектроника,35892001012815221928935141248254361367574380487394410191093116112241259
химическая488320010128158233322397467529592660722789
промышленность,360216101287514621530539850657663871378785792098110451080
медицинская14742161012889151223298373447523585652715779
техника.22892161012861123192267342410472506
По72023220128101171
сравнению92723220128171240303369444506581655760
с172223220128171
аналогами192723220128171246309379448506568657731
обеспечен269323220128178250311374448510581643718
многопараметровый34462322012819827234139946954460667573882788895010201089115612501324
контроль480623220128177246322383452522592656
с549623220128172
расширенным3602483012870133195303377448510585659754842
диапазоном12372483012872146208283345399470545615704
значений19762483012855130193262325399474549
измеряемых25602483012875130219280351416478566660730
параметров.33252483012875138207270357420481551621686721
3.9.7.3.1.24352809012670106176211280315386421490525
Эллипсометры29952809012695174252334414476545641703772850960
40–летний7202966012870141211281343405478554628
опыт13842966012870144239300
производства17182966012875145215290345412481552615676742805
эллипсометров.25582966012860130199274349411481570631693763832899934
Диагностика7203128012896171234291365435498559634701764
и15193128012875
контроль16293128012868138212274343413484547
тонких22113128012861131206274348419
пленок26653128012876146208283352421
и31203128012875
слоев.32303128012863133202265331366
Январь7203288012894169235298366431
2012118632880128110180249320
года:15413288012897167238301339
Аналитический191532880128141216278348424485559630692754822897971
комплекс292232880128108177266341411473542604
для356132880128111181246
характиризации384232880128109172241304371432506577651707769844919993
поверхности487132880128115184251313382453527597659720795
твердого3603449012861128190260332401459528
тела9243449012861123193256
методом12143449012889151212281353423512
полной17613449012875144215289359434
эллипсометрии22313449012860130199274348411480568631692762837912
"ЭЛЛИПС–АМ".317834490128581502463404415426357088089339901025
Магнитоэллипсометрия37906030012613320226634742849656762770578486594610081077117312341303138214631538
Новое344761860128101171238308370
перспективное385261860128147210280342417480547608683750824894957
направление484461860128147209283354417483553615689764826
исследования30876347012875138200270332403473540602676750815
магнитных393763470128202264322396471533606701770
наноструктур474363470128187250324394456518587657724785855924
полупроводниковой30876507012875146216286359430499566636708783858926995106211321207
спинтроники.432865070128113188264338400469539614689757832868
Метод523165070128175237297367439
сочетает30876668012862133204266327389451512
в39026668012866
себе42696668012862125196259
традиционное48306668012861130193263339413489558633707778840
эллипсометрическое308768290128601302002743504124835716336957638399109711033110211711233
зондирование45466829012855126201272346417486553616689765827
–56016829012870
измерение30876991012875131220282351414489563626
амплитудно–поляризационных3748699101281222112853554304915616317067768479239931063112711961272132813901464153916091683175918521923
характеристик30877152012870133202265333394457526600663724799867
отражѐнного398971520128214276344407504567641715786844913
света,493771520128206273335396457492
с546471520128206
измерением30877313012875131220282351414489563626715
параметров40217313012875138207270357420481551621687
оптического49297313012870145206282351414476543613671741
отклика,30877474012870132200270345412475510
возникающего363274740128139208264339413481544649755818875945
при461274740128148217293
модуляции493974740128162231303373442506581657731
магнитного30877634012889151209284358420495564622691
поля381476340128185256326390
(магнитооптический423876340128158439876370126961652293103904595295996817488299089701033111211931273
эффект30877797012661158254315396465
Керра).3587779701261021652433213913979779501284782