317
15454918169011060120180
Линейные720390012895170246308382458551614
измерения13693900128174230319381450513587662727
объектов,21303900128171242315376445506575642677
характеризующихся2841390012817123330236543349455762670075682692910371112118212451310
значениями41863900128155230292363425499575639727803
размеров50233900128171233289376439508578645
меньших360551012889151226291398473543
и938551012899
много10725510128113187257315384
меньших14925510128111173248313420496565
длины2092551012895166239315408
волны2536551012890160229304398
излучения,2970551012898154224294363425500576641676
требуют3681551012885155216287357460521
принципиально4237551012899169245320395470545620682752816890960
нового5233551012899168235304362432
подхода.360712012875146216286357428490525
26–29720873012870141211280351
апреля11068730128104179249312382446
201115878730128112183252322
г.19438730128101136
в21148730128109
Новосибирском23028750126109179243313374452522600670733804873969
Академгородке3350875012694165235304366462514584653723793864927
работала43108730128113176246317379441511573
4–я4961875012670140216
школа52128750126161241311390460
«Метрология3601039012670203265334412482560630694775851
и124610390126230
стандартизация150910390126212281352433504573651719800856926100810881164
в270810390126225
нанотехнологиях2968103901262303003814515205866557368068849541018109911741244
и424710390126231
наноиндустрии.451310390126230300381451532611682752815884963104411241158
Функциональные3601200012612119027235243251358366473481388796810781139
наноматериалы».15331200012681151232302398467536599677757826905101510841119
Школа72013560128142210280351413
является11671356012866132202267329390451516
ведущей17181356012869130201271377439514
в22681356012868
РФ23731356012878189
коммуникационной25961356012871140229318388461537604667742816887961103711061181
и38131356012875
образовательной392313560128711422132763314004665285896527227858609301005
площадкой,49641356012875145215323385456524593668704
направленной3601517012875138213282345411481543617692762837
на123215170128154215
обсуждение148215170128148220282352447519582657731794
актуальных231115170128141208270340400470535610704774
проблем312015170128153224293364435496585
и374015170128153
повышение392815170128153224290383492554628703766
квалификации472815170128147213275345419509584653715789864938
специалистов3601678012862137200274350412482556618680749815
компаний13891678012868138227302364439514589
наноиндустрии,21911678012875138212281357431503572633694764840915951
регулирующих33551678012870133191261329404474545648756831901
органов,44691678012870141203265340410476511
центров51921678012875138213275343413480
коллективного3601839012868138209279341409470544611686755813882
пользования,127818390128164234304367422492558621696770835870
испытательных2183183901281652263023954575195816417127768509441014
центров323218390128165228302363432503569
и383718390128163
лабораторий403518390128160222293363432495557625696771846
в491618390128156
области510618390128160232302364425487560
метрологического360200101288915121328335242349355162469575881988795710151085
обеспечения148020010128101172235297371434505567641717780
производств,229620010128107176247321377443512584646707773808
испытаний313920010128107169245338400462536611686
продукции386020010128106177246317388454529605680
наноиндустрии457620010128107168244313389463534603664725795871946
и555820010128107
стандартизации.3602161012862124186261332395464526601656718792868942978
Организаторами72023220128101171229291366441497559620689760821910985
школы175123220128108177246316410
являлись:21972322012875141211275345420482546584
ОАО282823220128102202303
«РОСНАНО»,31662322012881159260353455556656757827862
Федеральное407523220128111172244307377440510574648718780
агентство48902322012873131193267329391453519588
по55132322012885155
техническому3602483012861124194270344415476539607676765836
регулированию122924830128100162220290360434505575641704779853958
и222224830128104
метрологии,236124830128118181242311381451521579654728764
СО316024830128123224
РАН.341824830128108209310345
Оператором379824830128130205268338400461531601670760
школы459324830128137206275345439
выступил50662483012895189252313383457532602
«Метрологический360264401287019425731838845952959865673080186392699310681143
центр15362644012876138213275344
РОСНАНО».19152644012878180272374475575676746780
Поскольку72028050128101171234302371442505573643
эллипсометрия139728050128128199268343419481551641703764833909973
является240528050128133199269333395457519584
общепризнанным30242805012813720931737845452359965472879186594010341123
и418228050128142
одним435928050128138210285360448
из484228050128143199
ведущих507628050128134196268338445520590
методов3602966012889151213283354424491
нанометрии88629660128104167241311401462523593668742
слоистых16642966012893163233307370431524595
тонкопленочных229429660128921612363043744495185806557267968719651035
материалов336529660128118181242305373449512582650717
и411729660128106
структур,42582966012893155223294360422492560596
лаборатория488929660128101162234305375437498569638714777
эллипсометрии3603128012860130200274350412483572634695764840914
ИФП130931280128102212313
СО16563128012894195
РАН18853128012878180280
приняла22003128012875145221296361431493
активное27293128012860128190265332405476539
участие33033128012870138201263324399462
в38003128012867
работе39003128012870133203274335398
школы.433331280128108175245315408443
Нанометрология720329101261091792613314264885566357047838529179971073
–182832910126120
раздел20333288012870133188260322392
метрологии246032880128139201263332401472541599673748
(науки32433288012897172235305372447
об372532880128121191
измерениях),395232880128125181270330401462538613677747795830
включающий481732880128116184254358429491596704778852
методы3603449012889151213283354448
и8433449012888
средства9653449012875144207277340401468530
обеспечения15303449012882153215277352414485547622697762
единства23263449012875145221295358419484547
измерений29083449012887143232294363426500575650
и35923449012888
способы37143449012875151220282352423518
достижения42663449012884154217278352449511586661725
требуемой50263449012874143206276347407496566641
точности3603610012861132202277347410471545
при94036100128123193267
исследовании124336100128122185247317378450519586648723797873
нанообъектов215136100128122184259329399470543605672734804871
и305736100128122
измерении321436100128122178267329398460540614690
их393936100128121192
параметров416636100128122185255316405468529598669735
в493636100128114
процессе508536100128123192263337400462523585
производства3603771012875146215291347413481552615676743805
наноматериалов,119937710128761382132833724334955576277027648349049711006
наноструктур22393771012875138212282345407476546613674744812
и30883771012875
других31983771012872142212268343414
видов36473771012867141213282349
продукции40303771012876146216287357424499574650
наноиндустрии,47153771012875138212281357431503572633694764840915951
в3603932012866
которых46139320128148219280349419514583
определяющим1080393201281492232943564274905586237288369111000
их211539320128154224
эксплуатационные237439320128140208270344415483544605667742818888964103811321195
показатели360439320128154224292354409471532594664739
фактором437839320128170232301362431502571661
является507339320128144209279343406467529594
применение3604094012875146220309372445508583658720
нанотехнологий.111440940128751382132823444064755516206917618198939671002
3.9.4.15074420012670106176211280315
Основные185744200126109172252322398479588650
термины25414420012669132209304385466575
и31514420012681
понятия32664420012681150232307376457533
нанометрологии383444200126801502313013974595276066757538248909711051
Атомно–силовой720457801261011702413364164875566197007798489249931074
микроскоп182945780126119199279357427490571641722
–25864578012694
АСМ271645780126125226358
–31094578012694
(англ.32624576012847109184241311346
atomic36434576012886125194304341403
force40824576012870140187250311
microscope,442845760128134171234280350405467538607670705
AFM)516845760128125202327374
–55764576012895
сканирующий3604737012862131193268343412483586694769844
зондовый12404737012873143217288357424518593
микроскоп,186847370128106180249318388450519588663699
формирующий260047370128109178249338412481552655763838913
изображение35494737012891147217288358420517579655730792
объекта43754737012888159232293362423485
в48944737012884
результате50134737012887148204274342407468530591654
регистрации3604898012870133191265327388459520595670745
силы11414898012876150220314
взаимодействия14914898012880134196271360429501564638701762828902967
зондового24934898012869140214285354421491548618
датчика31464898012886147209279353422484
(кантилевера)36654898012861129191266328401472534600662732794841
с45414898012876
поверхностью,46524898012890159226288357428502572634696760864899
в55864898012880
процессе3605060012875146215291352415477539
сканирования.9355060012862129191266341411481548610684759824861
Гранулометрия7205223012689167237318388466537632694762841922997
(англ.17885221012847109183241311346
grain216952210128106153214253323
size25285221012889128190252
analysis,28165221012898167230268337390429484521
granulometry)337252210128105153214284354392463572632671719789834
–424252210128107
общее438452210128105177286347409
название482852210128110173228294356430506568
для543052210128106177241
различных3605381012870133188258333404478572642
по10385381012895165
физическим123953810128112186242317386449511579654743
принципам20175381012896166241316391465540602691
методов274353810128109172233303374445511
определения32895381012890166235298368431501563637711776
распределения41005381012892154216291361424494557627689763838903
частиц50385381012891152215276351425
по54995381012896166
размерам.3605542012870133188277340408471560595
Зондовый7205706012674144226297367443552633
датчик13875706012688157226305385466
(англ.19055703012847109184242312347
probe)22875703012886133202272335382
–27045703012886
устройство,28265703012886147208278349425487549615684719
предназначенное358057030128911612242943694314865626246947558309069751038
для46535703012887157221
регистрации49095703012886149206280343404475536610686760
информативного36058640128751512413113814705325946687348098799371006
сигнала14025864012862137194269332402464
в19015864012866
сканирующих20025864012862130192267342412482585693768838
зондовых28765864012856124199270341408501570
микроскопах34825864012888164231301371433500571645708778
Кантилевер72060270126102172254321402481543619681759
(англ.15216025012847109184241311346
cantilever)19026025012869131201240279318381450513559606
–25436025012877
зондовый26566025012862131206277347413508583
датчик,32746025012877140202272346415450
представляющий375960250128801502132843464074705366046697738829571032
собой48266025012868138209279354
тонкую52166025012868137212280349453
балку3606187012871134204273343
микронных7366187012889164232302372448522616686
размеров,14566187012871132188277339409479545580
на20716187012875137
свободном22436187012863129198270339410486555644
конце29236187012868137212287349
которой33076187012869137199269339409484
находится38256187012875137207277348423484547611
острая44706187012870133194263326391
игла48946187012876133204264
Кластер72063500126102181250313381444522
(англ.12936348012847109183241311346
cluster)16746348012877115186240278341388434
–21436348012886
группа22646348012873142213286362424
близко27236348012886156231287355424
расположенных,318263480128861482102853554254945916537288038979661002
тесно42196348012876138201276348
связанных46026348012878144209264326400476569639
друг52766348012887156227283
с55946348012877
другом3606509012871142213268339428
атомов,8236509012863124192282352419454
молекул,13116509012889158228289357427496531
ионов,18766509012875146221292358393
ультрадисперсных2304650901287013820226333339546754260567974281187494810421112
частиц34516509012871133195257331405
Критический72066720126102180261330411490552614695776856
размер161166720126111181238332394472
(англ.21526669012847109184242312347
critical25346669012895142181219258321383421
dimension,299066690128104142251312382437477546616652
CD)367766690128126228274
–398666690128105
минимальный412666690128123198272347437498568632706801875
линейный503666690128104178254315390465559634
размер3606830012870133188277340408
элемента8046830012860130192280343417478541
сформированной138068300128621532222933824565255966637257998739441018
структуры.24346830012862123192263330392462530625660
Магнитно–силовой720699301261332022663474284965776477177808619401009108511541234
микроскоп198969930126127208289366437499580651731
–275569930126102
МСМ289369930126164264396
–332369930126103
(англ.34946991012847109184242312347
magnetic387669910128141201271342405442482545
force44566991012877148195256318
microscopе)481069910128141178240287357412474544614679724
–556969910128103
сканирующий3607153012862131193268343412483586694769844
зондовый12407153012888158234305374441535609
микроскоп,188571530128122197265335404467535605679715
получение263571530128108177248317386448524599662
изображения333271530128108164233305374437533595669745810
в41777153012899
котором431271530128101170232302371441530
основано487771530128104166240310377439514583
на549671530128108171
магнитном3607314012889151209284358420495564654
взаимодействии10497314012874129191266354425495557632695756823898972
острия20567314012877140201271346411
зонда25027314012863132208278341
и28787314012883
магнитных30057314012889151207282357418494587657
кластеров36977314012876146209270331393463533600
поверхности43327314012883152219281351421495566628689764
твердого51307314012870136198268340410468537
телаф3607475012861124194256347